隨著時(shí)代的發(fā)展，氣體工業(yè)對(duì)高純氣、電子氣等特種氣體的需求也與日俱增，氣體中微量、痕量雜質(zhì)的檢測(cè)是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，原有的熱導(dǎo)等檢測(cè)器均難以適應(yīng)當(dāng)前氣體分析的需要。

    脈沖放電氦離子化檢測(cè)器（PDHID）作為一種通用型檢測(cè)器其靈敏度*，對(duì)絕大多數(shù)無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合高純氣體的分析，是能夠檢測(cè)至ng/g（ppb）級(jí)的檢測(cè)器。原理簡(jiǎn)單的說是利用穩(wěn)定的、低功率脈沖直流放電氦作離子源使被測(cè)組分電離產(chǎn)生信號(hào)。色譜儀配備PDHID檢測(cè)器，其檢出限可達(dá)ppb級(jí)，是目前靈敏度較高的通用型檢測(cè)器，對(duì)被測(cè)物質(zhì)均有高靈敏度的正響應(yīng)，特別適合痕量氣體的組分分析。同時(shí)它也是非放射性檢測(cè)器，具有可靠的安全性。

    GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器，采用中心切割與反吹技術(shù)，配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進(jìn)樣方式，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測(cè)，檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí)，重復(fù)性RSD≤1％。